应该怎么样做好PIE
前面分期转载了PIE工程师的工作内容，发现很多朋友都比较喜欢这个内容，那么今天就谈一谈如何做好PIE吧！module工程师可以参考，意思都差不多的。
前面那么多文章都在介绍半导体基础知识，器件知识，各个module的基础内容，加上PIE的职责，可以看到，PIE要了解的东西真的好多，对不对！没错，PIE就是要什么都懂，这也是为什么很多PIE工程师是从module工程师转过来的，有了module的基础，再加上有PIE的知识基础，碰到问题就更容易发现并加以解决，有些公司甚至会让PIE工程师在刚进公司的前几个月内每个module待一段时间，为的就是让他对各个module的工作模式，常见问题如何解决，以及机台相关的信息有一定的认知，顺便混个脸儿熟，这些都是为了PIE能更好的做工作的铺垫。
PIE工程师工作过程中会碰到的问题汇总：
Inline数据超差：工艺流程中所有厚度测量，线宽测量，成分比例测量，电阻率测量，应力测量...都会设置一个范围SPEC，moudle会在这个SPEC的基础上再加一个control limit，通过SPC系统的控制OOC,OOS，连续几点上升/下降，n点同侧等等规则，超出这些规则，SPC chart都会报警，并hold lot，或者hold机台，如果module自己搞不定的时候，就会找到PIE来一起解决，这时候PIE要根据对应参数对产品的影响敏感程度来做出处理意见（还有一种是借用的菜单，或者实验造成的超差，这些都会由PIE来处理），并作出改善方案；
表面异常：无论发生在什么步骤，晶圆表面异常的时候，PIE都要去确认异常是怎么发生的，如果无法判断，有的时候要借助FA手段来确认异常层次，从而决定如何处理表面异常的情况，并找到问题的根源，提出预防措施；
WAT/PCM数据OOS/OOC：有很多工程师对OOC都视若不见，其实OOC是一种信号，如果你的control限设置的很合理，一旦OOC发生，很可能是某个工艺步骤发生了shift，及早发现问题，并解决之是PIE应该有的基本理念；对于OOS的情况，问题就变大了，有的时候是单片OOS，有的时候是多片OOS，单片OOS有很多时候是某一个工艺步骤的个别问题，而多片OOS的时候就有很多可能了，最好能根据失效参数来初步缩小到工艺的某个stage，然后再结合FA分析来确认工艺步骤，然后再确认该工艺步骤发生问题的根源，并想办法解决掉，同时提出预防方案，这些内容很多时候需要module工程师的配合，所以，如果你碰到一个负责任的moudle的时候，找问题有的时候就比较简单，如果你运气不好，碰到一般的，或者经验不够丰富的，可能就要费些时间。
低良反馈：“常在河边走，哪有不湿鞋”这句活用在这里再合适不过了，做了PIE如果没碰到低良问题，那你一定是做的假PIE；那么碰到低良问题的时候，要怎样去分析和解决它，这个估计是很多PIE工程师都头痛的问题，这个确实需要一定的经验积累，但是万变不离其宗，对于低良问题，首先肯定是要对比正常lot与异常lot的WAT参数，如果发现明显异常的参数，恭喜你，估计这个参数异常造成的低良可能性比较大，后续你再加以验证即可；如果WAT参数并没有明显异常参数，这个时候就比较麻烦了，结合良率mapping，失效BIN，想办法手动验证，或者通过EMMI，OBIRCH, FIB, SEM,液晶等等手段，找到失效区域，并分析失效层次，或者客户可以提供一些敏感的层次作为线索，从而来判断问题的发生根源。
配合module扩产能：FAB里一般都有各种各样的机台，当产能出现瓶颈的时候，将同类机台qual出来就迫不及待了，所以扩产能这是大家都要遇到的情况，但是有一点一定要注意，建议平时就看好哪里可能产能不足，并分配好qual机台的时间，不要等到火烧眉毛的时候火急火燎的qual机台，因为很多时候短期内qual出来的机台有可能会在过一段时间后发现它与baseline是有差异的，这些工作如果在前期不急的时候都做出来，就会省去很多不必要的麻烦，甚至有时候会碰到低良问题，就得不偿失了。
改产品版本，处理异常NCR；
建立一些需要建立的文件；
修改、新建流程：有时候经过验证，流程需要更新，这个是PIE需要来完成的，对于类似工艺，改动部分菜单，需要新建流程的，也是PIE的工作内容；
根客户沟通，开会：对于一些大一些的客户，会有定期开会的需求，PIE需要准备会议报告，对于问题作出解决方案，对于PCM cpk要定期更新，对于低良问题一定要给客户信心，你能做好，一旦客户不信任你，你会很难过，因为客户一般不是很了解情况，他们就会根绝他们自己的经验来指挥你按照他们的想法去分析问题，很多时候是无用功，所以，如果你能建立起客户对你的信心，发生问题的时候，客户也会很乐意跟着你的思路去想问题。
最后一点：其实还有很多内容没写，都是一些要处理问题要抓细节什么的，就不专门说了，这里要数ode最后一点是非常重要的，记住了，别怪我没提醒你，跟你老板搞好关系！升职加薪就靠这了，哈哈~~
好了，今天就大概讲讲如何做一个PIE工程师，做好PIE需要强大的知识背景，如果碰到不会的东西，一定不要懒，去百度查，去道客阅读查资料，一般都能查到你要的东西，或者你有其它资源，都可以利用起来，将不懂的知识研究透彻，以后再碰到这样的问题就不会不会了。
感谢支持！